電子顕微鏡と薄膜アプリケーション向けの多用途なソリューションを手に入れましょう
市場をリードするスパッタおよびカーボンコーターのラインナップを提供する当社は、高分解能顕微鏡向けのEM試料前処理に最適なソリューションを提供します。
アプリケーションに不可欠な業界トップのコーティング性能
当社の製品には、低価格のロータリーポンプ式スパッタコーターや、高度なターボ分子ポンプ式コーターも含まれます。当社はさまざまな金属を使用するスパッタコーティング、カーボン蒸着、およびどちらの技術も利用可能な製品を提供しています。
高真空アプリケーションでの超微細コーティング向けQ150V Plus
1×10-6 mbarの到達真空度を持つQ150V Plusは、20万倍を超える倍率での観察向けに超微細粒子を持つ酸化する金属をスパッタ可能です。
- 3種類の構成により、さまざまなコーティングオプションを提供
- アルミニウム スパッタリング専用のパルス クリーニング
- 取り外し可能な防爆シリンダー付きチャンバー
Q150Ｔ Plusターボ分子ポンプ式コーターで高分解イメージング
より高真空の状態を提供するターボ分子ポンプを備えたQ150Ｔ Plusは、より小さな粒径を持つ酸化する金属のスパッタが可能です。
- スパッタ、カーボン、および両コーティングが可能な3つのモデル
- スマートフォン式のユーザーインターフェース
- 複数のステージオプション
(English)
Q150R Plusロータリーポンプ式コーターによるW-SEM向けスパッタリング
3種類のフォーマットで利用可能なロータリーポンプ式Q150R Plusは、タングステン/LaB6 SEMや卓上型SEMでの利用に適しています。
- 2つのモデルで利用可能な貴金属のスパッタコーティング
- 新型タッチ＆スワイプ静電容量式スクリーン
- 16GBのUSBメモリーへ1,000種類以上のレシピを保存可能
SEM、TEM、および多くの薄膜アプリケーション向けQ150 GB
人気のQ150T ES Plusシステムのグローブボックス版となるQ150 GBは、スパッタリングとカーボンコーティングが可能で、回転試料ステージも備えます。
- 一体型グローブボックス圧力モニタリング
- リモート操作タッチスクリーンパネル
- 膜厚モニター機能
大型試料の薄膜アプリケーションにはQ300T T Plusが必要です
大型チャンバーを持つターボポンプ式システムQ300T Plusは、大型または複数の試料を均等にコーティングするための3つのスパッタリングヘッドを備えます。
- トリプルターゲット スパッタリングシステム
- 到達真空度5×10-5 mbar以下
- 1つの装置に複数の用途プロファイル
Q300T D Plusを使って真空状態を中断することなく連続で金属層をスパッタリング
2つの独立したスパッタリングヘッドを持つQ300T D Plusは、最大直径150 mmの試料に対する連続スパッタリングを可能にします。
- 幅広いステージオプション
- 自動真空制御
- 低温マグネトロン スパッタリング
理想的な低コストコーティングシステム パッケージ – SC7620
コンパクトな入門レベルのSEMスパッタコーター SC7620は、経済的なスパッタリングを提供します。カーボンコーティング用アタッチメントを追加するためのオプションもあります。
- 簡単操作
- グロー放電機能
- 高さ調節可能な試料ステージ
